CZウェーハ

FZウェーハ

各種加工

LED

その他

成膜加工 2インチから12インチウェーハへの成膜が可能です。 また、テストパターン付ウェーハ（6インチから12インチ）も対応致します。 レチクルご支給による、露光/エッチングも承ります。（8インチと12インチ） 12インチ　対応可能膜種 酸化膜系 熱酸化、RTO、LP-TEOS、HDP-USG、P-TEOS、PSG、BPSG 窒化膜系 DCS-SiN、P-SiN、LP-SiN 金属膜系 TaN、Ta、Cu、Al、Al-Si、Al-Si-Cu、Ni、W、W-Si-Cu その他 Poly-Si、a-Si、SiC、Low-k(SiOC系、有機化学系） ＊レジスト塗布/露光/エッチングは4インチ〜12インチまで対応可能です。 バックグラインダー：直径5インチ〜12インチ ダイシング　　　　　：直径5インチ〜12インチ エピ受託加工 エピの受託加工を承っております。小ロットからの対応も致しますので、 MEMSの試作にもお使いいただけます。お気軽にお問合せ下さい。 特徴 ・実験用に小ロット（25枚）から可能　　　　　　　　 ・サブウェーハご指定も可能 ・厚さ公差：4%以内 ・均一性公差：5%以内 ・ドーパントにヒ素も可能 直　径 76、100、125、150mm エピソース Trichlorosilane, Dichlorosilane ドーパント Diborane, Phosphine, Arsenic 抵抗率 0.05〜100 ohm cm エピ厚さ 1μm以下 現在、シリコン単結晶はIC,LSIや太陽電池以外にも赤外線の優れた透過特性から、赤外線 レンズなどにも使用されております。エナテックでは半導体用シリコンウェーハやモニターウェーハ 以外にもシリコン単結晶/多結晶/合成石英の各種加工品を取り扱っております。また、シリコン以外にも化合物半導体や各種電子材料の取り扱いも行っております。 光学用シリコン加工品 赤外線材料、暗視カメラ用レンズ、レーザー用レンズ ターゲット/電極 スパッタリングターゲット、シリコンリング、シリコン電極 多結晶シリコン加工品 各種実験材料（スクエア、ディスク） 合成石英加工品 スクエア、ディスク、ボード、ルツボ

シリコンウェーハ	直径：2インチ〜12インチ　テスト・モニター・ダミーグレード
単結晶シリコンインゴット	直径：2インチ〜12インチ　半導体用・加工品用材
多結晶シリコンインゴット	CZ・FZ用　加工品用材　スパッタターゲット
ルツボ残　TOP＆TAIL	6インチ〜12インチ
高純度シリコン粉末	純度　99.999％以上

半導体製造装置向けや、大学・研究所等で使われるテスト・モニター用ウェーハや、 パーティクル管理がされていないコインロールウェーハまで幅広く扱っております。 また、膜付/パターン付ウェーハの対応も可能です。 国内の主要シリコンメーカーより直接購入しておりますので、価格・品質共に自信を 持って提供させて頂きます！！