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　　CZウェーハ 　　FZウェーハ 　各種加工 　　　LED 　その他　

1.円筒研削　加工能力

　 項　　　目 寸　　　法 精　　　度
1 インゴット仕上げ直径 φ70mm～φ330mm ±0.05mm
2 インゴット素材長さ 最大長　600mm 　
3 オリフラ長 最大　　60mm ±2.00mm
4 ノッチの深さ 最大　　3mm ±0.25mm
5 ノッチ加工可能長さ 最大　　340mm 　


　 項　　　目 寸　　　法 精　　　度
1 円柱加工 φ5mm～φ100mm×Ｌ50mm ±0.03mm
2 円筒内面研磨 φ5mm～φ50mm×Ｌ50mm ±0.03mm

備考： 仕上げ表面粗さ　Ｒａ0.37～0.75（μｍ）



2．平面研磨 加工能力

　 項　　　目 寸　　　法 精　　　度
1 最大加工寸法 Ｌ500mm×Ｄ300mm×Ｈ215mm ±0.03mm
2 最小加工寸法 Ｌ 20mm×Ｄ　20mm×Ｈ 　2mm ±0.03mm

備考： 仕上げ表面粗さ SD#300 Ra0.37～0.75(μm) SD#500 Ra0.09～0.17(μm)



3．穴明け・特殊形状加工

　 項　　　目 寸　　　法 精　　　度
1 穴明け加工寸法 φ0.5mm～φ4.0mm ±0.03mm
2 ポケット　ザグリ φ5mm～可能　　深さ10mm迄 ±0.03mm
3 最大加工寸法　（円柱） φ320mm×Ｈ200mm 　
4 最大加工寸法　（角柱） Ｌ320mm×Ｄ320mm×Ｈ200mm 　

U字型、丸形、その他
指定の複雑形状加工が可能です。


4．切断

粗加工

　 項　　　目 寸　　　法 精　　　度
1 素材最大径 φ340mm 　
2 切断長さ（厚さ） 2mm～420mm ±0.2mm
3 角切り L350mm×D350mm×Ｈ390mm ±0.2mm

精密加工
　 項　　　目 寸　　　法 精　　　度
1 素材最大径 φ200mm 　
2 切断長さ（厚さ） 0.6mm～5mm ±0.05mm



5．ラップ

　 項　　　目 寸　　　法 精　　　度
1 加工寸法丸材 φ100mm～φ200mm　厚さ8mm迄 ±0.02mm
2 加工寸法角材 □6.0mm～□140mm ±0.02mm



6．Si　材、石英材の切り出し、溝入れ加工

　 項　　　目 寸　　　法(単位mm) 精　　　度
1 加工寸法　切り出し W230×D900×t50　□ ±0.5mm
2 加工寸法　溝入れ W230×D900×t50　溝入れ幅1～10 ±0.5mm


7．Si　材コア抜き

　 項　　　目 寸　　　法 精　　　度
1 加工寸法　丸材 φ210mm×L100mm ±0.5mm
2 加工寸法　角材 □210mm×L100mm ±0.5mm



8．その他材料

石英、サファイアガラスが加工可能です。

















2004年10月にISO14001を取得しました！
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